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(建设项目环境影响评价文件审批)拟对浙江美迪凯光学半导体有限公司半导体晶圆制造及封测项目环评文件作出审批意见的公告

发布日期: 2023-11-13

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项目详情

项目名称建设地点建设单位建设项目概况公众参与情况相关环保措施承诺主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施浙江美迪凯光XXXXX公司半导体晶圆制造及封测项目海宁市长安镇(****新区)新潮路15号浙江美迪凯光XXXXX公司企业拟投资39726.25万元,改造已装修完毕厂房3500平方米的生产厂房(洁净室), 购置包括光刻机、涂胶显影机、刻蚀设备、PVD设备、炉管设备、半导体封装设备、半导体检测XXXXX公司原有光刻机、PVD设备、涂胶机、显影机、半导体检测设备等配套设备,实施年产24万片半导体晶圆及24亿颗半导体芯片封装项目。/建设单位承诺,将按照环评提出的相关要求实施项目建设,确保落实各项污染防治和生态保护措施。3#晶片清洗和湿法蚀刻废气利用3#现有改造后的1套二级碱液喷淋塔+活性炭处理后25米****空排放;3#晶片酸洗、湿法刻蚀、丝网印刷、真空镀膜、光刻涂胶、显影废气利用3#现有的1套水喷淋+除湿+活性炭吸附处理后25米****空排放;1#晶片酸洗、湿法刻蚀、真空镀膜、干法刻蚀废气收集后通过新增的一套碱喷淋+除湿+活性炭吸附处理后通过25m排气筒排放;1#晶片酸洗、湿法刻...

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