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深圳国际量子研究院3生长腔3英寸分子束外延设备意向公开

发布日期： 2024-01-31

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项目详情

深圳国际量子研究院3生长腔3英寸分子束外延设备意向公开采购单位: 深圳国际量子研究院项目名称: 3生长腔3英寸分子束外延设备预算金额（元）: 5,800,000.000 采购品目: 其他机械设备采购需求概况: 依托于本项目，实现多种低维材料生长，3个生长腔体通过UFO互联，Loadlock进样，配预处理室，生长室1为磷化物生长系统，生长室2&3需可扩展能力。设备整体指标需满足：3个生长室均具有3寸样品制备能力；双层水冷，****真空度，本底真空优于1.0x10-10mbar；生长室具有多至8个源炉接口****均匀性极坐标控制加热能力，可至1000℃自动控制系统等。预计采购时间: 2024-3 联系人：XXXXX 谭老师联系电话: XXXXX...

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