近日,清华大学异质接触与互连溅射台、电感耦合等离子体增强化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD 3和通用电子束蒸发台采购项目进行公开招标,招标项目的潜在投标人应在http://www.oitccas.com/获取招标文件,并于2024年01月16日 13点30分开标。 一、项目基本情况 项目编号:OITC-G240270063 /清设招第20230337号 项目名称:清华大学异质接触与互连溅射台采购项目 采购需求: 异质接触与互连溅射台采购1套,预算金额:480万元,国产,项目拟购置设备为异质接触与互连溅射台,可实现多靶位共溅射,主要用于MEMS 三维异质异构集成与 MEMS执行器加工。 项目编号:OITC-G240270064/清设招第20230352号 项目名称:清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)采购项目 采购需求: 电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)采购1套,预算金额:640万元,允许进口。 用途:本设备通过电感耦合(ICP)方式产生****密度等离子体,在半导体或有机材料衬底上沉积低温****致密低...
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