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【货物】东华大学高温磁控溅射系统采购项目

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各供应商：东华大学采购与招投标管理中心受用户委托，以校内密封比价采购方式进行东华大学****温磁控溅射系统项目采购。一、项目内容：1.项目名称:****温磁控溅射系统2.品牌：矩阵多元科技3.型号：RS-B4.项目数量:1台5.项目总预算: 495,000.00元(报价超预算,报价单算无效报价单) 二、项目总体要求： 1、项目总体技术要求1）.设备极限真空5x10-5 Pa，真空漏率：≤6.6×10-8 Pa·L/s，进口真空计2）.样品台：加热面积4英寸，Z轴行程100mm，马达控制，基片可连续旋转，加热温度900°C，稳定性：±1°C；温差＜3%3）. 2英寸靶枪2个，标准磁场和强磁场靶枪各1套，在真空环境下，靶枪倾角可原位自动调整，靶枪配有挡板4）. 气路系统，配有3个工艺气路可通氮气、氧气、氩气，配有进口流量计5）. 进口DC电源1套，500w6）. 软件系统，可控制设备加热，靶枪，进气等，带有安全互锁以及多人账户管理功能 2、交货安装地点：安装至松江校区科技创新楼5楼501-503客户指定地点（东华大学校园内） 3、交货期合同签订生效后3个月内交货 4、设...

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