一、项目名称：真空气相沉积系统二、项目编号：S2024064三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室邮编：215021　　　　　　　传真：0512-67165076联系人：丁老师　　　　　　电话：0512-67504198，67504359电子邮箱：dingy@suda.edu.cn技术联系人：师老师　　　　电话：188621184984电子邮箱：ydshi@suda.edu.cn四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求真空气相沉积系统　　1套  （一）主要技术性能指标及配置要求1.总体要求该系统包括过程控制系统、蒸发室、裂解室、沉积腔、真空系统，...