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深圳大学直流磁控镀膜意向公开

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深圳大学直流磁控镀膜意向公开采购单位:深圳大学项目名称:直流磁控镀膜预算金额（元）:1,930,000.000采购品目:真空应用设备采购需求概况:拟需采购一台直流磁控溅射，可以在6英寸尺寸样品上镀纳米到微米级薄膜，薄膜材料包括：各种金属，半导体，氧化物，氮化物，合金，掺杂薄膜等，实现各种纳米材料，纳米结构，纳米器件制备。主要功能：1. 在配有快速进样室的情况下，样品可以在20分钟之内更换，提****实验效率。2. 可实现共溅射，用于合金，掺杂，化学计量比调控。3. 可实现****致密度介质材料在反应气体辅助的条件下沉积。4. 可实现原位真空衬底清洁，以提****薄膜附着力和提****薄膜质量。5. 可实现全自动多层膜连续生长工艺。6. 可实现6英寸范围内镀膜均匀性优于 /-3 %。7. 可实现较****的真空度，极限真空优于2 x 10-7 Torr。商务要求：免费保修期：质保期3年。1、接到设备安装要求的通知7个工作日天内，供应商需到达现场进行设备的安装调试以及培训工作；2、自设备验收之日起，质保期36个月；3、在设备质保期内，供应商需对设备出现的各类故障应及时免费提供维修服务，对非...

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