深圳技术大学热蒸发镀膜机意向公开采购单位:深圳技术大学项目名称:热蒸发镀膜机预算金额(元):1,600,000.000采购品目:其他仪器仪表采购需求概况:拟采购热蒸发镀膜机1台,配置参数包括:1.满足8英寸及向下兼容晶圆基板的蒸镀需求,适配公转; 2.极限真空:≤3E-5Pa,压力上升:≤5E-6(Pa*m3/s); 3.配备热阻蒸发源,钨舟数目≥5,钨舟量≥40cc,自动切换,具有自动定位功能,可蒸镀多层膜; 4.薄膜均匀度:≤±5%(公转); 5.热阻电源额定功率≥6kW; 6.腔体内加热最大加热温度≥350℃;采用PID控温,控温精度:≤±0.1℃;7.具备薄膜实时测量监控功能,一用一备,自动切换。联系人:XXXXX>宋惠雪联系电话...
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