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深圳技术大学热蒸发镀膜机意向公开

发布日期： 2024-02-07

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项目详情

深圳技术大学热蒸发镀膜机意向公开采购单位:深圳技术大学项目名称:热蒸发镀膜机预算金额（元）:1,600,000.000采购品目:其他仪器仪表采购需求概况:拟采购热蒸发镀膜机1台，配置参数包括：1.满足8英寸及向下兼容晶圆基板的蒸镀需求，适配公转； 2.极限真空：≤3E-5Pa，压力上升：≤5E-6（Pa*m3/s）； 3.配备热阻蒸发源，钨舟数目≥5，钨舟量≥40cc，自动切换，具有自动定位功能，可蒸镀多层膜； 4.薄膜均匀度：≤±5%（公转）； 5.热阻电源额定功率≥6kW； 6.腔体内加热最大加热温度≥350℃；采用PID控温，控温精度：≤±0.1℃；7.具备薄膜实时测量监控功能，一用一备，自动切换。联系人：XXXXX>宋惠雪联系电话...

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