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深圳技术大学电子束蒸发镀膜机意向公开

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深圳技术大学电子束蒸发镀膜机意向公开采购单位:深圳技术大学项目名称:电子束蒸发镀膜机预算金额（元）:2,500,000.000采购品目:其他仪器仪表采购需求概况:拟采购电子束蒸发镀膜机1台，配置参数包括：1.腔体极限真空≤8E-8Torr，开腔后从大气抽到5E-6Torr小于30分钟；2.一台不小于10KW电子束枪电源，X/Y扫描；坩埚的数目不少于6个，每个坩埚容量不小于15cc，带流量感应探头的冷却水回路。3.真空计及气体流量控制：两路气路N2和O2,一个质量流量计控制O2，质量流量计（工艺腔体）最大流量100sccm。4.配置一套晶振控制器，集成于系统PLC可用于蒸发源和挡板的自动操作；双探头晶振，可以自动切换。5.水冷工件台：直径8英寸旋转工件台，转速0-20RPM可调节，满足8英寸向下及碎片基板的蒸镀需求。6.膜厚均匀性：8英寸膜厚片内±3%，片间±3%；厚膜精度优于0.1A。联系人：XXXXX>宋惠雪联系电话:XXXXX预计采购时间:2024-03备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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