南京新工投资集团有限责任公司所需线宽测试仪及相关安装调试等服务项目招标公告
项目详情
项目概况：线宽测试仪及相关安装调试等服务，数量1台。线宽测试仪，该设备在150mm （6英寸）芯片制造中，实现对圆片曝光后线条形貌观察以及线条尺寸测量的功能。要求图形分辨率3nm at 0.8kV，测...
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