电子束光刻机国际招标公告(2)
项目详情
****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-02-08在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:上海科技大学拟采购电子束光刻机资金到位或资金来源落实情况:招标人资金已到位项目已具备招标条件的说明:具备招标条件2、招标内容招标项目编号:1639-244122250027/01招标项目名称:电子束光刻机项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 电子束光刻机 1 *设备可实现****分辨电子束曝光，最小特征尺寸≤8 nm * 采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不大于30 KV，最小可调节步进为10 V* 在20kV下，最小束斑直径不大于1.6 nm3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1) 独立法人资格或其他组织。 2) 投标人是专业生产本次所需设备的制造商，或由制造商指定一个代理商作为本次投标的唯一授权代理。 3) 投标人提供的投标机型应是原产地的全新产品； 4）投标人或投标货物的制造商须具有从事类似货物生产销售的经验； 5）本项目预算为510万元...
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