项目概况:三腔刻蚀设备及相关安装调试等服务,数量1台。三腔刻蚀设备,以提升产能到5万片/年,该设备在150mm(6英寸)芯片制造中,用于SiO2介质刻蚀,满足技术协议中的硬件和工艺要求。设备具备升级2...
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