****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-04-29在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:甬江实验室因发展需要,需采购深硅刻蚀机1套、湿法厚膜沉积设备1套。资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。2、招标内容招标项目编号:0762-2441CBNB2010招标项目名称:甬江实验室采购深硅刻蚀机和湿法厚膜沉积设备项目(重招)项目实施地点:中国浙江省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 深硅刻蚀机 1套 真空系统:腔室极限真空≤0.1mTorr,腔室漏气率≤2mTorr/min,控压范围至少包括5mTorr-500mTorr,控压精度≤±0.1mTorr。2 湿法厚膜沉积设备 1套 预处理模块:配置预润湿功能,电镀前对晶圆表面及TSV深孔等进行有效润湿并去除晶圆表面颗粒等污染物,真空度≤40torr,漏率<40torr/min。3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授...
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