浙江招标网:甬江实验室采购深硅刻蚀机和湿法厚膜沉积设备项目国际招标公告(1)-安华招标网

甬江实验室采购深硅刻蚀机和湿法厚膜沉积设备项目国际招标公告(1)

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****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-04-22在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购深硅刻蚀机1套、湿法厚膜沉积设备1套。资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。2、招标内容招标项目编号:0762-2441CBNB2010招标项目名称:甬江实验室采购深硅刻蚀机和湿法厚膜沉积设备项目项目实施地点:中国浙江省招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1 深硅刻蚀机 1套真空系统：腔室极限真空≤0.1mTorr，腔室漏气率≤2mTorr/min，控压范围至少包括5mTorr-500mTorr，控压精度≤±0.1mTorr。2 湿法厚膜沉积设备 1套预处理模块：配置预润湿功能，电镀前对晶圆表面及TSV深孔等进行有效润湿并去除晶圆表面颗粒等污染物，真空度≤40torr，漏率＜40torr/min。3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理...

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